Freescale Semiconductor, Inc.
TABLE OF CONTENTS
Pressure Sensor Overview
SECTION ONE — General Information
General Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–7
Motorola Pressure Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–8
Integration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–12
Sensor Applications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–13
Pressure Sensor FAQ’s . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–14
Quality and Reliability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
Reliability Issues for Silicon Pressure Sensors . . . . . . 1–3
Soldering Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–10
Pressure Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–11
Electrostatic Process Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
Statistical Process Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–11
Data Sheets
MPX10, MPXV10GC Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–15
MPX12 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–19
MPX2010, MPXV2010G Series . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–23
MPX2050 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–27
MPX2053, MPXV2053G Series . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–31
MPX2100 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–35
MPX2102, MPXV2102G Series . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–39
MPX2200 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–43
MPX2202, MPXV2202G Series . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–47
MPX2300DT1, MPX2301DT1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–51
MPX4080D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–54
MPX4100 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–59
MPX4100A, MPXA4100A Series . . . . . . . . . . . . . . . . 3–64
MPX4101A MPXA4101A, MPXH6101A Series . . . . 3–70
MPX4105A Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–75
MPX4115A, MPXA4115A Series . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–79
MPX4200A Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–84
MPX4250A, MPXA4250A Series . . . . . . . . . . . . . . . . 3–88
MPX4250D Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–93
MPX5010, MPXV5010G Series . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–97
MPX5050, MPXV5050G Series . . . . . . . . . . . . . . . . 3–103
MPX5100 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–108
MPX53, MPXV53GC Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–114
MPX5500 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–118
MPX5700 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–122
MPX5999D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–126
MPXA6115A, MPXH6115A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–130
MPXAZ4100A Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–135
MPXAZ4115A Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–140
MPXAZ6115A Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–145
MPXC2011DT1, MPXC2012DT1 . . . . . . . . . . . . . . . 3–150
MPXH6300A Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–153
MPXM2010 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–158
MPXM2053 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–161
MPXM2102 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–164
MPXM2202 Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–167
MPXV4006G Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–170
MPXV4115V Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–174
MPXV5004G Series . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–179
MPXV6115VC6U . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–183
Test Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
Accelerometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
Media Compatibility Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
SECTION TWO — Acceleration Sensor Products
Mini Selector Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
Device Numbering System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
Sensor Applications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
Acceleration Sensor FAQ’s . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
Data Sheets
MMA1200D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2– 5
MMA1201P . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–12
MMA1220D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2– 18
MMA1250D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–24
MMA1260D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–30
MMA1270D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–36
MMA2201D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2– 42
MMA2202D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2– 48
MMA3201D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2– 55
Application Notes
AN1559 Application Considerations for a Switched
Capacitor Accelerometer . . . . . . . . . . . . . 2– 62
AN1611 Impact and Tilt Measurement
Using Accelerometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–65
AN1612 Shock and Mute Pager Applications
Using Accelerometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–77
AN1632 MMA1201P Product Overview
and Interface Considerations . . . . . . . . . . 2– 84
AN1635 Baseball Pitch Speedometer . . . . . . . . . . . . 2– 89
AN1640 Reducing Accelerometer
Susceptibility to BCI . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–101
AN1925 Using the Motorola Accelerometer
Evaluation Board . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2– 104
Case Outlines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
Glossary of Terms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
Application Notes
AN935 Compensating for Nonlinearity in the
MPX10 Series Pressure Transducer . . . 3–188
AN936 Mounting Techniques, Lead Forming
and Testing of Motorola’s MPX Series
MPX10 Series Pressure Sensors . . . . . . 3–195
AN1082 Simple Design for a 3–20 mA Transmitter
Interface Using a Motorola
SECTION THREE — Pressure Sensor Products
Mini Selector Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
Device Numbering System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
Package Offerings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
Orderable Part Numbers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
Pressure Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–200
(continued — next page)
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